5L 真空不锈钢腔体等离子清洗机 PLC-ST5L

设备简介： 离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电

离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-40pa 的真空度，再在高频

发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的

特点是高均刀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见

光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，

得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

一、小型等离子清洗机的基本结构

1、射频电源部分：射频源，射频调节，功率放大，功率调节，功率输出，输出

保护，等离子电极，温度保护。

2、系统控制部分：数字自控，I/O 控制，真空度 A/D 检测，脉宽比例 D/A 调节，

参数记忆，时钟设定。

3、真空与气路部分：真空系统，外加气体，流量调节，回气与管路

对于小型等离子清洗机而言，由于射频功率较小，其射频电源与控制都组装在一

个机箱内，一是减少空间的占用，二是便于操作和放置，同时与大型清洗机相比

较，从检测功能与控制功能的设置上尽量简练。图 1 为小型机外形。

整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮，铝合金自动门：氧化处理、喷

砂、光洁高档，不锈钢腔体内部表面处理光亮、便于清洁，电路设计电流过载保

护，模块式电路、维修方便快捷，PLC人机界面，方便、简洁、定时精准、手动、

自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震。

二、设备的通用技术参数

5L型是双路气体输入

*腔体材质：不锈钢表面处理

*供电电源：AC220V

*工作电流：整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

*射频电源功率：0-300W可调

*射频频率： 40KHZ（偏移量小于0.2KHz）

*频率偏移量：小于0.2KHz

*特性阻抗：50欧姆，自动匹配

*真空度： 1pa-30Pa

*气体路数： 双路气体输入

*气体流量： 10—100ml/min(可调)

*过程控制： PLC人机界面自动与手动方式

*清洗时间： 1-6000秒钟可调

*功率大小：10%-100%可调

*内腔尺寸：直径150mm×270mm

*外形尺寸： 510mmx450x420mm

*重量：45Kg

*真空泵： 2XZ-4

*真空室温度：小于65°C

*冷却方式：强制风冷